超精加工利用裝在振動頭上的細粒度油石對精加工表面進行的精整加工（見切削加工）。超精加工一般安排在精磨工序后進行，其加工余量僅幾微米，適于加工曲軸、軋輥、軸承環(huán)和各種精密零件的外圓、內(nèi)圓、平面、溝道表面和球面等。

超精加工特點：
①超精加工是利用裝在振動頭上的細磨粒油石對工件進行微量切削的一種磨料精密加工方法。
②超精加工主要是減小Ra值，可達0.2～0.012μm，可適當提高形狀精度。
③超精加工生產(chǎn)率很高，常用于加工曲軸、軋輥、軸承環(huán)和某些精密零件的外圓、內(nèi)圓、平面、溝道表面和球面等。
超精密加工就是在超精密機床設(shè)備上，利用零件與刀具之間產(chǎn)生的具有嚴格的約束的相對運動，對材料進行微量切削，以獲得極高形狀精度和表面光潔度的加工過程。其精度從微米到亞微米，乃至納米，其應(yīng)用范圍日趨廣泛，在高技術(shù)領(lǐng)域和軍用工業(yè)以及民用工業(yè)中都有廣泛應(yīng)用，尤其是電氣自動化領(lǐng)域，如超大規(guī)模集成電路，高精度磁盤，精密雷達，導(dǎo)彈火控系統(tǒng)，精密機床，精密儀器，錄像機磁頭，復(fù)印機磁鼓，煤氣灶轉(zhuǎn)閥等都要采用超精密加工技術(shù)。它與當代一些主要科學(xué)技術(shù)的發(fā)展有密切的聯(lián)系，是當代科學(xué)發(fā)展的一個重要環(huán)節(jié)；而且超精密加工技術(shù)的發(fā)展也促進了機械，液壓，電子，半導(dǎo)體，光學(xué)，傳感器和測量技術(shù)以及材料科學(xué)的發(fā)展。