超精密機(jī)械加工是適應(yīng)現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的一種機(jī)械加工新工藝，綜合應(yīng)用了機(jī)械技術(shù)發(fā)展的新成果及現(xiàn)代電子技術(shù)、測量技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)中先進(jìn)的控制、測試手段等，使機(jī)械加工的精度得到進(jìn)一步提高，使加工的極限精度向納米和亞納米精度發(fā)展。超精密機(jī)械加工的方法很多有切削、磨削等等。其中超精密切削技術(shù)是使用精密的單晶天然金剛石道具加工有色金屬和非金屬。超精加工的分類有去除加工、結(jié)合加工、變形加工。超精密機(jī)械加工技術(shù)是衡量一個(gè)國家先進(jìn)制造技術(shù)水平的重要指標(biāo)之一，是先進(jìn)制造技術(shù)的基礎(chǔ)和關(guān)鍵。在目前，在工業(yè)發(fā)達(dá)國家中，一般工廠能穩(wěn)定掌握的加工精度是1μm。超精密機(jī)械加工技術(shù)的指標(biāo)為精密加工精度為 1—0.1μm，表面粗糙度值為：Ra0．3-0.03μm； 超精密加工精度為0.1-0.01μ m表面粗糙度值為Ra0.03-0.005μm， 又稱亞微米加工；（1微米=0.001mm）,納米加工精度高于 0.03 μ m， 表面粗糙度值小于 Ra 0.005μ m。 超精密機(jī)械加工技術(shù)提高制造精度后可提高產(chǎn)品的性能和質(zhì)量，提高其穩(wěn)定性和可靠性；促進(jìn)產(chǎn)品的小型化；增強(qiáng)零件的互換性，提高裝配生產(chǎn)率，并促進(jìn)自動(dòng)化裝配。精密和超精密加工目前包含三個(gè)領(lǐng)域。實(shí)現(xiàn)超精密加工的方法主要有：超精密切削，如超精密金剛石刀具鏡面車削、鏜削和銑削等；超精密磨削、研磨和拋光；超精密微細(xì)加工（電子束、離子束、激光束加工以及硅微器件的加工、LIGA技術(shù)等）。