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精密加工不是指加工精度。超精密加工方法是一種精度極高的綜合性的現(xiàn)代加工方法。所謂精密加工,其加工精度可達10納米(0.01微米),表面粗糙度達1納米,加工的最小尺寸為1微米。這是從20世紀60年代開始發(fā)展起來的一個高新技術群。

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