精密機(jī)加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，加工精度到達(dá)和超過0.1微米稱超精細(xì)機(jī)械加工，運(yùn)用精細(xì)機(jī)床和精細(xì)量具和量儀來完成的，在航空航天工業(yè)中，如液壓和氣動(dòng)伺服機(jī)構(gòu)中的精細(xì)配合件，精細(xì)機(jī)械加工首要用于加工飛行器控制設(shè)備中的精細(xì)機(jī)械零件，飛行器精細(xì)零件的結(jié)構(gòu)雜亂，并且難加工資料所占的比重較大。

1.零件的幾許形狀和相互位置精度到達(dá)微米或角秒級(jí)，互配件能滿足配合力的要求，飛行器大大都精細(xì)的輕合金零件多選用這種辦法加工，坐標(biāo)精度可達(dá)2微米。

2.零件外表微觀不平度(外表不平度均勻高度差)小于0.1微米，用于加工形狀雜亂的鋁或鈹合金結(jié)構(gòu)件，運(yùn)用經(jīng)細(xì)心研磨的金剛石刀頭進(jìn)行高速銑切可取得鏡面。

3.部分零件還能滿足力學(xué)或其他物理特性要求，零件的界限或特征尺度公差在微米以下，這類零件大都選用淬硬鋼，以保證高穩(wěn)定度。

4.浮子陀螺儀扭桿的扭轉(zhuǎn)剛度、撓性元件的剛度系數(shù)等，因而是精細(xì)加工技能中取得高精度的加工辦法，以到達(dá)精度和微觀不平度。